主要特点:特殊波段,温度范围宽泛,用于MOCVD、MBE系统的测温组件;
目前被AIXTRON指定为MOCVD设备测温器件,同时被国内高校、研究院所用于纳米材料生长的观察研究;
技术参数:
|
|
温度范围 |
400 to 2600 °C 220 to 2600 °C 210 to 2600 °C 70 to 2600 °C 30 to 2400 °C |
波长 |
650µm 用于高温金属、太阳能、SiC 材料测温 880µm 用于化合物半导体材料测温 900 µm 半导体,硅材料测温 1550µm 金属和陶瓷工艺测温 700-1650um 低温金属、陶瓷、金属氧化工艺测温 |
发射率ε |
0.001-1.000 |
响应时间 |
1ms |
精度 |
读数0.15% 或1.5°C |
漂移 |
每年不超过0.15°C |
瞄准方式 |
可选择辅助激光瞄准 |